1. PVD的含義 —
PVD是英文Physical Vapor Deposition的縮寫,中文意思是“物理氣相沉積”,是指在真空條件下,用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術(shù)。
2. PVD鍍膜和PVD鍍膜機(jī) —
PVD(物理氣相沉積)鍍膜技術(shù)主要分為三類,真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍膜。對應(yīng)于PVD技術(shù)的三個分類,相應(yīng)的真空鍍膜設(shè)備也就有真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、真空濺射鍍膜機(jī)和真空離子鍍膜機(jī)這三種。
近十多年來,真空離子鍍膜技術(shù)的發(fā)展是最快的,它已經(jīng)成為當(dāng)今最先進(jìn)的表面處理方式之一。我們通常所說的PVD鍍膜 ,指的就是真空離子鍍膜;通常所說的PVD鍍膜機(jī),指的也就是真空離子鍍膜機(jī)。
3. PVD鍍膜技術(shù)的原理 —
PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù),其具體原理是在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離,利用電場的加速作用,使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。
4. PVD鍍膜膜層的特點(diǎn) —
采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系數(shù))、很好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點(diǎn),膜層的壽命更長;同時膜層能夠大幅度提高工件的外觀裝飾性能。
5. PVD鍍膜能夠鍍出的膜層種類 —
PVD鍍膜技術(shù)是一種能夠真正獲得微米級鍍層且無污染的環(huán)保型表面處理方法,它能夠制備各種單一金屬膜(如鋁、鈦、鋯、鉻等),氮化物膜(TiN、ZrN、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),以及氧化物膜(如TiO等)。
6. PVD鍍膜膜層的厚度 —
PVD鍍膜膜層的厚度為微米級,厚度較薄,一般為0.3μm ~ 5μm,其中裝飾鍍膜膜層的厚度一般為0.3μm ~ 1μm ,因此可以在幾乎不影響工件原來尺寸的情況下提高工件表面的各種物理性能和化學(xué)性能,鍍后不須再加工。
7. PVD鍍膜能夠鍍出的膜層的顏色種類 —
PVD鍍膜目前能夠做出的膜層的顏色有深金黃色,淺金黃色,咖啡色,玫瑰金色,古銅色,灰色,黑色,灰黑色,七彩色等。通過控制鍍膜過程中的相關(guān)參數(shù),可以控制鍍出的顏色;鍍膜結(jié)束后可以用相關(guān)的儀器對顏色進(jìn)行測量,使顏色得以量化,以確定鍍出的顏色是否滿足要求
PVD鍍膜涂層常用置配:
鋯+氮?dú)猓?/span>黃綠調(diào)金黃色
鋯+甲烷:深淺黑色
鋯+氧氣:白色、透明膜
鋯+氮?dú)猓淄椋?/span>金色、仿玫瑰金
鉻+甲烷:深淺黑色
鉻+氮?dú)猓?/span>淺黑色
鉻+氮?dú)猓淄椋?/span>銀灰色
鉻+氧氣:輕黃色、紫色、綠色
SUS+氧氣:紫色
SUS+氮?dú)猓?/span>藍(lán)色
SUS+甲烷:亮黑色
SUS+甲烷+氮?dú)猓?/span>藍(lán)黑色
硅+氮?dú)猓?/span>黑色
硅+氧氣:混濁白、透明膜
硅+甲烷:黃色、綠色、藍(lán)色、黑色(靶材純度高于99%僅能調(diào)黑色)
鈦+氧氣:光學(xué)膜七彩色。
鈦+甲烷:深淺黑色( DLC制備不能達(dá)標(biāo))
鈦+氮?dú)猓?/span>金色、黃銅色、
鈦+氮?dú)猓淄椋?/span>玫瑰金色、古銅色、咖啡色、茶色、深褐色
鎢+氮?dú)猓?/span>棕黃色
鎢+甲烷:深淺黑色
鎢+氧氣:紫色,鮮黃色,棕色,藍(lán)色
以上僅裝飾薄膜常用材料及其常用氣體,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分顏色甲烷效果更好。除以上常用材料外,金屬靶材還有鎳、鋁、鉭、鉿、錳、銅、鋅、銦、錫、等,均有在鍍膜中使用。多質(zhì)靶材如鈦鋁、鉻鋁、鈦鋯、銅錳、鎳鉻、硅鋁、釩錸、鎢鉬等等。
8. PVD鍍膜與傳統(tǒng)化學(xué)電鍍(水電鍍)的異同 —
PVD鍍膜與傳統(tǒng)的化學(xué)電鍍的相同點(diǎn)是,兩者都屬于表面處理的范疇,都是通過一定的方式使一種材料覆蓋在另一種材料的表面。兩者的不同點(diǎn)是:PVD鍍膜膜層與工件表面的結(jié)合力更大,膜層的硬度更高,耐磨性和耐腐蝕性更好,膜層的性能也更穩(wěn)定;PVD鍍膜不會產(chǎn)生有毒或有污染的物質(zhì)。
9. PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè) —
PVD鍍膜技術(shù)的應(yīng)用主要分為兩大類:裝飾鍍膜和工具鍍膜。裝飾鍍的目的主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤同時使工件更耐磨耐腐蝕延長其使用壽命;這方面主要應(yīng)用五金行業(yè)的各個領(lǐng)域,如裝飾工程五金、展示展架五金,鎖具、衛(wèi)浴五金等行業(yè)。工具鍍的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦系數(shù),提高工件的使用壽命;這方面主要應(yīng)用在各種刀剪、車削刀具(如車刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產(chǎn)品中。
10. PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù)的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢 —
和真空蒸發(fā)鍍膜真空濺射鍍膜相比較,PVD離子鍍膜具有如下優(yōu)點(diǎn):
1 .膜層與工件表面的結(jié)合力強(qiáng),更加持久和耐磨
2 .離子的繞射性能好,能夠鍍形狀復(fù)雜的工件
3 .膜層沉積速率快,生產(chǎn)效率高
4 .可鍍膜層種類廣泛
5 .膜層性能穩(wěn)定、安全性高(獲得FDA認(rèn)證,可植入人體)
真空蒸發(fā)鍍膜 真空濺射鍍膜 真空離子鍍膜 三種鍍膜方式的比較
比較項(xiàng)目 | 真空蒸發(fā)鍍膜 | 真空濺射鍍膜 | 真空離子鍍膜 | |
壓強(qiáng)(×133Pa) | 10E-5~10E-6 | 0.15~0.02 | 0.02~0.005 | |
粒子能量 | 中性 | 0.1~1eV | 1~10eV | 0.1~1eV |
離子 | - | - | 數(shù)百到數(shù)千 | |
沉淀速率(微米 / 分) | 0.1~70 | 0.01~0.5 | 0.1~50 | |
繞射性 | 差 | 較好 | 好 | |
附著能力 | 不太好 | 較好 | 很好 | |
薄膜致密性 | 密度低 | 密度高 | 密度高 | |
薄膜中的氣孔 | 低溫時較多 | 少 | 少 | |
內(nèi)應(yīng)力 | 拉應(yīng)力 | 壓應(yīng)力 | 壓應(yīng)力 |